1）超声波波声强：一般选择在1—2W每平方厘米，声强增大时，空化泡核形成的最大直径与初始直径比值加大，使空化强度增大，空穴数量也增多；但过高的声强，会在换能器附近的液中产生过于密集的空穴形成一道音障，阻碍了超声波的传递，反过来不利于洗净能力的发挥。
2）超声波的振动频率：频率越高，液中产生空穴的所需的声强也增大，低频率时，易产生空穴，而且空穴生长的时间间隙较大，空穴直径增大，空化效应增强，缺点时噪声大，且易对脆弱制品（如树脂类材质）造成损伤；高频时，空化效应减弱，噪声低，传递距离减小，主要靠超声波的能量作用洗净，易于穿透小孔深孔。
3）洗净液的性质：表面张力大的液体空化效应强，粘度大、蒸汽压高的液体空化效应弱。
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