常用的化学去污工艺有：浸泡法、循环冲洗法、可剥离膜去污法、泡沫去污法和化学凝胶去污法等。

（1）浸泡法：使去污剂充满浸泡系统不进行循环。适用于系统的循环泵、某段回路没有被污染而必须与污染溶剂隔离、或部分系统必须向某种特殊的腐蚀性溶剂隔离时。浸泡时可以辅以搅拌和加热，提高去污效果。

（2）循环冲洗法：用水和去污剂的混合物充满系统，或将化学试剂直接加入充满水的系统强制循环。适用于系统管道和设备的去污。

（3）可剥离膜去污法：把聚合物的混合物涂到已污染的表面，使污染物被包含在聚合物中固化，再将污染的聚合物层剥离下来送去处置的新型去污工艺。适用于光滑的塑料或金属表面。

（4）泡沫去污法：利用诸如洗涤剂和润湿剂产生的泡沫作为化学去污剂的载体去污。适用于金属表面和复杂形状的大体积核部件去污，不适用于有深或错综复杂的裂隙的表面。

（5）化学凝胶去污法：化学凝胶用作化学去污剂的栽体，喷或刷涂在部件表面，凝固后即可进行洗涤、擦拭、冲洗或剥离。适用于去污剂与污染表面长时间接触的情况。