硫氧化物包括二氧化硫和三氧化硫，污染面广，是大气污染的主要指标。
氮氧化物主要产生于燃烧、硝酸生产、硝化以及电子、电渡等行业。处理方法主要有催化还原、吸附和吸收法。
氟化物常采用水吸收法净化含氟废气，净化率可达99.9%.氯化氢以水吸收最为经济方便，净化率可达95%.硫化氢的干法净化有氧化铁法和活性炭法。湿法有溶剂法、碱法、氧化法。
有机废气治理首先应是采用无害化工艺，减少有毒原料的用量，控制有毒气体的排放量。净化方法有冷凝法、吸附法、燃烧法和吸收法。
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